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激光干涉仪
技术参数:
系统精度:±0.5ppm(0~40 ℃整个工作环境范围)
激光稳频精度:±0.05ppm
分辨率:0.001um
测量速度:4.0m/sec
采样频率:50KHz
测量范围:0-80metres
预热时间:~6分钟
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